可对应硅片的内部缺陷检测。
【内部检测】:当线性光照射硅片时,会穿透硅片。如果硅片内部有PIN HOLE则会减少透光量。通过测量透光量来检测硅片内部的缺陷。
【缺陷种类】:PIN HOLE
【生产能力】;每片检测较快只需 25S
【菜单功能】:可编辑检测菜单,并进行参数保存与导出
【检测范围】:除边缘2mm
【检测对象】:8~12寸 抛光片&外延片
可对应硅片的内部缺陷检测。 【内部检测】:当线性光照射硅片时,会穿透硅片。如果硅片内部有PIN HOLE则会减少透光量。通过测量透光量来检测硅片内部的缺陷。 【缺陷种类】:PIN HOLE
【生产能力】;每片检测较快只需 25S
【菜单功能】:可编辑检测菜单,并进行参数保存与导出
【检测范围】:除边缘2mm
【检测对象】:8~12寸 抛光片&外延片
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欢迎来到杭州光研科技有限公司网站, 具体地址是浙江省杭州萧山区浙江省杭州市萧山区建设二路858号集成电路设计产业园,联系人是俞珩。
主要经营 GWM-全自动硅片缺陷检测复合机:对硅片外周(Bevel)进行非接触式高速检测。 画像处理根据预先设定的参数条件自动提取各种缺陷,并判定是否合格。根据缺陷种类不同每片检测较快只需 60S。
GWS-全自动硅片外延缺陷检测设备:应用于300mm硅片外延层的滑移线,背面光晕和划痕等缺陷检测;根据缺陷种类不同每片检测较快只需 40S。
等等
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单位注册资金单位注册资金人民币 100 万元以下。
我公司在机械产品领域倾注了无限的热忱和激情,公司一直以客户为中心、以客户价值为目标的理念、以品质、服务来赢得市场,衷心希望能与社会各界合作,共创成功,共创辉煌,携手共创美好明天!